5225型Aerober离子发生器是一款棒状离子发生器，专门设计用于超净化工艺设备，如半导体。 单晶硅电极在 范围内具有很好的采用记录，避免了由于超低颗粒特性和电极材料导致的金属污染风险 采用脉冲直流法的广泛的静电消除能力 全数字电路控制，更稳定的离子生成和长离子平衡 通过安装5200-SR外部传感器附近的中和目标（可选），而不是离子发生器条体，当在中和目标的反馈控制可能的附近的离子平衡（5200-SR未连接，电离器棒体内置传感器是离子平衡自动调整） 设置半导体前端EFEM对应的长度条 各种参数如离子发生输出，离子发生时间，报警阈值等可以设置在一个很宽的范围内，从而实现灵活的对应，如长距离应用和弱气流环境 只需输入参数的数值即可获得高重复性，并且可以在短时间内完成设置 除了简单的IO报警外，还可以通过免费的DLL进行实时监控，有助于掌握工艺设备的状态 深圳市杉本贸易有限公司上海办事处 联系人：谢子晗 QQ：2850148612 电话（微信同号）：15921906333 shsugimoto2018