特征 适用于大尺寸晶片和平板显示器 大容量可用 结合起来。 大于150 kL/min 也可以随需应变。 02 特征 短周期时间 大容量围绕ATM。对于大型L/L型腔，压力可以实现很好的高速泵送。 SDL系列 溶剂排空泵也排好了队。