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EMC用球形石英粉指标要求如下:
(1)高纯度
高纯度是电子产品对材料基本的要求,在超大规模集成电路中要求更加严格,除了常规杂质元素含量要求低外,还要求放射性元素含量尽量低或没有。
美国生产的用于超大规模集成电路封装料的球形石英粉:
SiO2含量达99.98%以上;
Fe、Al、Ca、Mg等金属氧化物含量总和小于130×10-6;
放射性元素含量在0.5×10-6以内;
日本生产的球形硅微粉:
SiO2含量达99.9%;
Fe2O3含量可达8×10-6;
水淬取液中Na+、K+、Ca2+、Cl-等离子含量分别可达5×10-6以下;
放射性U含量达0.1×10-9以下。
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(2)超细化及高均匀性
国外用于超大规模集成电路封装料的球形石英粉粒度细、分布范围窄、均匀性好,美国一般为1-3μm,日本平均粒径一般为3-8μm,大粒径小于24μm。
(3)高球化率及高分散性
高球化率是保证填充料高流动性、高分散性的前提,球化率高、球形度好才能保证产品的流动性和分散性能好,在环氧塑封料中就能得到充分的分散并能保证佳填充效果。
国外产品球化率一般都能达到98%以上,而国产料球化率一般只能达到90%左右,少数可达到95%。
中国已成为世界EMC第二大生产国,出口量也在快速增长,厂商的海外客户逐渐增多,客户遍及欧美、东南亚、中国大陆和台湾等地,改变了世界半导体EMC主要被日本企业垄断的行业竞争格局,也改变了半导体封装业对中国国产塑封料的认知,球形石英粉的市场需求量也越来越大。
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