抽真空速度是决定一台真空等离子清洗机的工作效率的重要因素之一，抽真空速度的快慢主要是取决于真空泵。当所需处理产品的尺寸较大，使用大腔体（80L以上）的真空等离子清洗机时，如果只使用一台真空泵的话，抽真空速度会比较慢，抽真空所需的时间会很长。因此，大腔体的真空等离子清洗机我们通常会配备真空泵组来提升抽真空的速度。今天我们就来介绍一下等离子清洗机上所用到的几类真空泵组以及在选择真空泵组时的注意点。 等离子清洗，等离子表面活化，表面改性，等离子刻蚀等。 真空泵组是将2台或2台以上的真空泵组合在一起，形成一个串联的结构，能够大大加快抽真空的速度。在真空等离子清洗机上用到的真空泵组一般有三大类，一种是旋片式真空泵加上罗茨泵；另一种是干式真空泵+罗茨泵；后一种是机械泵加上分子泵。 1.真空等离子清洗的旋片式真空泵+罗茨泵 旋片式真空泵加上罗茨泵组成的泵组又可以称为油式泵组，这种泵组是我们真空等离子清洗机中常见的一种泵组，它是由旋片式真空泵作为底泵，外加罗茨泵作为次级泵组合而成的泵组。这类泵组一般运用于对洁净度要求不是很高且腔体较大的真空等离子清洗机上。 旋片式真空泵加上罗茨泵作为真空等离子清洗机中常见的一种泵组，其优点有很多：，能够大幅度加大抽速，减少抽真空的时间； 第二，结构较为简单，维护方便； 第三，性价比较高，具有价格优势。 2.真空等离子清洗的干式螺杆真空泵+罗茨泵 干式螺杆真空泵加上罗茨泵组合成干式泵组，这种泵组是将干式螺杆真空泵作为底泵，罗茨泵作为次级泵组合成的泵组。因为都是由干式真空泵组合而成的，所以不会出现油污染，洁净度相较于油式泵组更高一些。干式泵组一般运用于生物医疗领域、半导体领域以及航天航空领域等洁净度要求较高的行业。 干式泵组作为一款性能优越的泵组，它的优点还真不少： ， 洁净度高，避免了油污染； 第二， 抽真空速度快，提高了工作效率； 第三， 第三，工作时性能稳定，声音低； 第四， 第四，对工作环境的要求低，能应对各种恶劣的工作环境。 3. 真空等离子清洗的机械泵+分子泵 机械泵加上分子泵就组成了一款特殊的泵组-分子泵组。使用分子泵组能够形成清洁的超高真空环境，所以分子泵组一般是运用在镀膜机、刻蚀机等对真空环境要求高的设备上。 分子泵组这么厉害，那它又有哪些优点呢？，分子泵组启动快，而且抽速非常快；第二，分子泵组是不会使用油的，不会产生油污染；第三，维护简单。 等离子清洗机和低温等离子体的技术研讨，真空等离子表面处理工艺、原理及应用等相关知识。