恒誉真空_好的中频磁控濺射镀膜设备在哪可以买到
所在地:广东省肇庆市
联系人:宋生
价格:面议
品牌:恒誉,,,,
发布时间:2024-06-01
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恒誉真空_好的中频磁控濺射镀膜设备在哪可以买到, 肇庆市高要区恒誉真空技术有限公司成立于2012-07-23,是一家可靠从事中频磁控濺射镀膜设备经营销售的有限责任公司。集研发、生产、销售、服务于一体。产品应用领域广泛,在机械和行业设备专用配件行业领域占有的市场,获得了众多用户的好评。严格质量过程控制,合同交货周期,至今已创下良好的信誉及口碑,以技术过硬、服务周到而享誉全国;广东、肇庆。
有品质才有市场,公司的产品以质量作为保证,广受需求群体的欢迎,供应的中频磁控濺射镀膜设备若有需要也可以进行定制。我公司的中频磁控濺射镀膜设备已通过批发;零售;的销售方式销往到了全国;广东、肇庆各地,用户对产品接受度高,为广大需求群体所欢迎。
恒誉真空,
平衡态磁控阴极内外磁钢的磁通量大致相等,两极磁力线闭合于靶面,很好地将电子/等离子体约束在靶面附近,增加碰撞几率,提高了离化效率,因而在较低的工作气压和电压下就能起辉并维持辉光放电,靶材利用率相对较高,但由于电子沿磁力线运动主要闭合于靶面,基片区域所受离子轰击较小.非平衡磁控溅射技术概念,即让磁控阴极外磁极磁通大于内磁极,两极磁力线在靶面不完全闭合,部分磁力线可沿靶的边缘延伸到基片区域,从而部分电子可以沿着磁力线扩展到基片,增加基片区域的等离子体密度和气体电离率.不管平衡非平衡,若磁铁静止,其磁场特性决定一般靶材利用率小于30%。为增大靶材利用率,可采用旋转磁场。但旋转磁场需要旋转机构,同时溅射速率要减小。
旋转磁场多用于大型或贵重靶。如半导体膜溅射。对于小型设备和一般工业设备,多用磁场静止靶源。用磁控靶源溅射金属和合金很容易,点火和溅射很方便。这是因为靶(阴极),等离子体,和被溅零件/真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源,回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵,溅射速率很小,同时接地技术很复杂,因而难大规模采用。为解决此问题,发明了磁控反应溅射。就是用金属靶,加入氩气和反应气体如氮气或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化,与反应气体化合生成氮化物或氧化物。磁控反应溅射绝缘体看似容易,而实际操作困难。
主要问题是反应不光发生在零件表面,也发生在阳极,真空腔体表面,以及靶源表面。从而引起灭火,靶源和工件表面起弧等。德国莱宝发明的孪生靶源技术,很好的解决了这个问题。其原理是一对靶源互相为阴阳极,从而消除阳极表面氧化或氮化。冷却是源(磁控,多弧,离子)所必需,因为能量很大一部分转为热量,若无冷却或冷却不足,这种热量将使靶源温度达一千度以上从而溶化整个靶源。
恒誉真空为了保障中频磁控濺射镀膜设备品质的可靠和稳定,维护产品口碑,恒誉真空严格按照国际质量管理体系认证进行生产,并以严格的产品质量管理模式推行科学管理。我司的中频磁控濺射镀膜设备在市场上的占有率正稳步提高,我们生产的产品具有镀膜的用途,在全国;广东、肇庆受到一致支持与认可。
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