碳化硅陶瓷密封圈|具有良好口碑的碳化硅陶瓷球供货商
所在地:广东省东莞市
联系人:曹先生
价格:面议
品牌:砾石,,,,
发布时间:2024-06-10
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东莞市砾石实业投资有限公司,自2009-08-05成立以来,一直致力于为用户提供有品质的碳化硅陶瓷球,我们的碳化硅陶瓷球在全国各地拥有庞大的销售市场,并深得工业陶瓷使用人群的青睐。凭借自身的实力以及广阔的销售市场,良好的售后服务,公司在绝缘材料行业领域中一直处于稳固地位。
的碳化硅陶瓷密封圈,
靶材的主要性能要求
纯度
纯度是靶材的主要性能指标之一,因为靶材的纯度对薄膜的性能影响很大。不过在实际应用中,对靶材的纯度要求也不尽相同。例如,随着微电子行业的迅速发展,硅片尺寸由6”, 8“发展到12”, 而布线宽度由0.5um减小到0.25um,0.18um甚至0.13um,以前99.995%的靶材纯度可以满足0.35umIC的工艺要求,而制备0.18um线条对靶材纯度则要求99.999%甚至99.9999%。
杂质含量
靶材固体中的杂质和气孔中的氧气和水气是沉积薄膜的主要污染源。不同用途的靶材对不同杂质含量的要求也不同。例如,半导体工业用的纯铝及铝合金靶材,对碱金属含量和放射性元素含量都有特殊要求。
密度
为了减少靶材固体中的气孔,提高溅射薄膜的性能,通常要求靶材具有较高的密度。靶材的密度不仅影响溅射速率,还影响着薄膜的电学和光学性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和强度使靶材能地承受溅射过程中的热应力。密度也是靶材的关键性能指标之一。
晶粒尺寸及晶粒尺寸分布
通常靶材为多晶结构,晶粒大小可由微米到毫米量级。对于同一种靶材,晶粒细小的靶的溅射速率比晶粒粗大的靶的溅射速率快;而晶粒尺寸相差较小(分布均匀)的靶溅射沉积的薄膜的厚度分布更均匀。
砾石实业在注重产品质量和企业信誉的同时,不断引进可靠技术人才和现代化经营管理模式,严格控制碳化硅陶瓷球质量,以精巧的产品生产工艺、完善的售后服务呈现于广大工业陶瓷使用人群。作为碳化硅陶瓷球的一贯销售方式,主要是通过批发;厂家;网上销售的方式售给全国客户群众,并支持陆运等物流方式。
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