一、 精密对位平台类型：

附图片

二、 对位平台选型步骤

1 取代XYR？ 

2 平台尺寸、大小 

3 重量

4 使用方式 

5 特殊：側向力、高荷重 

6 對位平台所搭配之視覺系統 

三、 对位平台选型方式：

四、Aligner 之運用 (Application of Aligner)

• 印刷電路板PCB (Printed Circuit Board)、

   曝光機(Exposure Unit)

• 觸控面板貼合 (Touch-Panel)

• 光學對位(Optical Position Stag

   AOI應用 (AOI application)

檢測設備 (Detection Facility)