真空炉扩散泵维修，真空炉扩散泵保养，真空炉真空泵维修保养，真空镀膜机扩散泵维修，镀膜机真空扩散泵保养，真空镀膜机扩散泵维修保养，Polcold扩散泵维修，扩散泵维修保养，Polcold扩散泵维修保养 光驰真空镀膜机扩散泵维修，光驰扩散泵维修 真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在状态，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。 扩散泵是真空镀膜机的主要部件，为机器能运作在状态，平时对真空镀膜机扩散泵的维护和保养非常重要。 扩散泵工作过程中冷却水保证畅通，停止加热后保证泵工作液已完全冷却后方可关闭冷却水。 2、扩散泵停止工作时，泵内应保持真空状态，以免泵油劣化。 3、被抽气体应是干燥、无腐蚀、无灰尘的气体。 4、扩散泵如暂时不用，保管期间应该保持真空状态，以免泵油污染和各零件腐蚀并将冷却水套入的剩水吹净。保持场地的室温应在10-40摄氏度之间。 5、扩散泵在长期工作后性能会逐渐变坏，应定期检查。如：泵油是否减少或氧化，按相应要求加油或更换处理；零件及泵腔先用航空汽油清洗，然后用进行擦洗，并置于80-100摄氏度温度下烘干或用电吹风吹干。处理完后，按顺序进行装配，保持泵芯与泵底垂直与泵腔同心，各级喷嘴间隙要按原要求调整好。 6、待水分挥发干以后装好泵芯，加入新扩散泵油，并装回机体，接好水管，装好电炉盘，便可以重新开机。 7、在重新开机前，要注意检漏工作。方法是：启动维护泵，关好真空室门，数分钟后，观察真空度是否6*10的0帕，否则要进行检漏，检查连接处是否漏装密封胶圈，或者压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热，否则扩散泵油会烧坏，无法进入工作状态。